真空爐是一種能夠在高溫下制備材料的設(shè)備,一般需要在載體(如石英管)內(nèi)部抽出氣體,以發(fā)明一個低壓環(huán)境。在真空爐中,真空度是一個非常要害的目標(biāo)。
一般來說,真空爐的真空度要求應(yīng)該在10^-5至10^-6的范圍內(nèi),即每立方厘米的氣體分子數(shù)在這個范圍內(nèi)。一般情況下,真空度越高,材料的制備質(zhì)量就越高,因此對某些特別領(lǐng)域(如航空、航天)的材料制備,真空度要求可達(dá)到10^-8甚至10^-10。