真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣維護狀態(tài)下,使用中頻感應加熱的原理,使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝發(fā)生高溫,經(jīng)過熱輻射傳導到工作上,適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。又分為臥式真空燒結(jié)爐和立式真空燒結(jié)爐兩種,安裝電爐的場所應符合真空衛(wèi)生的要求,周圍的空氣應清潔和干燥,并有良好的通風條件,工作場地不易揚起塵埃等。
真空燒結(jié)爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體維護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導體用設備系列中新穎的工藝配備,它設計構(gòu)思新穎,操作便利,結(jié)構(gòu)緊湊,在臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。