一、緊縮式真空計(jì)
1、緊縮式真空計(jì)優(yōu)缺陷
緊縮真空計(jì)優(yōu)點(diǎn)在于丈量真空燒結(jié)爐真空度的準(zhǔn)確性高，可作為真空計(jì)量的規(guī)范器。它的缺陷是運(yùn)用不行方便，反響緩慢，不能接連丈量。因?yàn)榫o縮式真空計(jì)是依據(jù)氣體規(guī)律制作的，只能丈量性氣體分壓強(qiáng)，而不能丈量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空體系中，緊縮式真空計(jì)的讀數(shù)不能標(biāo)志其真空度。
2、測(cè)真空度的辦法
緊縮式真空計(jì)上接一根頂端關(guān)閉的毛細(xì)管，下端與“Y”形管的一端口相接，“Y”形管下方接汞儲(chǔ)存器，運(yùn)用時(shí)，將真空燒結(jié)爐的真空體系與“Y”形管口相接，轉(zhuǎn)動(dòng)真空計(jì)，使汞緊縮成氣體，再轉(zhuǎn)至筆直方位讀取“丈量毛細(xì)管”與“比毛細(xì)管”的液面差，即為所測(cè)真空燒結(jié)爐的真空度。
二、熱導(dǎo)式真空計(jì)
1、熱導(dǎo)式真空計(jì)優(yōu)缺陷
熱導(dǎo)式真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是可丈量總壓強(qiáng)、能接連丈量、運(yùn)用方便、可用導(dǎo)線進(jìn)行遠(yuǎn)距離丈量、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略、易于制造。其缺陷是有熱慣性，當(dāng)壓強(qiáng)改變很快時(shí)反響滯后；外界溫度對(duì)丈量成果有必定的影響；電阻絲外表情況改變，可形成零點(diǎn)漂移，影響準(zhǔn)確讀數(shù)。
2、測(cè)真空度的原理與辦法
熱導(dǎo)式真空計(jì)是利用真空體系中分子數(shù)與傳導(dǎo)熱量有關(guān)的原理制成的真空燒結(jié)爐真空度丈量計(jì)，分為電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)兩種。經(jīng)過電流時(shí)溫度升高，周期氣體被加熱，規(guī)管管壁溫度低，依托周圍存在的氣體分子傳導(dǎo)熱量，電阻絲溫度改變，即反響了存在氣體分子多少。直接丈量電阻絲的溫度很不方便，因?yàn)殡娮杞z的電阻值與溫度有關(guān)，故可用電橋測(cè)出其電阻數(shù)值。
三、電離真空計(jì)
電離真空計(jì)是以氣體的電離現(xiàn)象為基礎(chǔ)來(lái)丈量真空燒結(jié)爐真空度大小的，可分為熱陰極電離真空計(jì)和磁控放電真空計(jì)兩類。
1、熱陰極電離真空計(jì)
?。?）熱陰極電離真空計(jì)優(yōu)缺陷
熱陰極電離真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是可測(cè)總壓強(qiáng)、可接連丈量、丈量范圍廣靈敏度高、電離計(jì)規(guī)管體積小可直接連通要測(cè)方位、對(duì)機(jī)械振動(dòng)不靈敏慣性小、校準(zhǔn)曲線是直線性。其缺陷是讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，不同氣體要做不同曲線；燈絲是白熾狀況，真空體系忽然漏氣或壓強(qiáng)忽然升高，會(huì)使燈絲損壞；氣體被吸附在陰極和搜集外表，易產(chǎn)生丈量誤差；在低壓強(qiáng)時(shí)，規(guī)管外殼與電極放電現(xiàn)象影響讀數(shù)。
?。?）原理與真空度丈量辦法
當(dāng)在熱陰極電離真空計(jì)各極加上必定電源時(shí)，燈絲處于白熾狀況，發(fā)出熱電子。這些電子與管內(nèi)氣體分子碰撞，使氣體電離，產(chǎn)生整離子。正離子為離子搜集，形成電流，隨著壓強(qiáng)的改變，電流也有改變。丈量電流的大小，即可測(cè)出真空燒結(jié)爐的真空度。
2、磁控放電真空計(jì)
（1）磁控放電真空計(jì)優(yōu)缺陷
磁控放電真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是沒有熱陰極存在，不會(huì)因漏氣而損害燈絲；丈量總壓強(qiáng)，可接連丈量；放電電流大，電路運(yùn)用外表簡(jiǎn)略；結(jié)構(gòu)結(jié)實(shí)，對(duì)外界不靈敏；增加電離的效果，真空計(jì)的靈敏度則隨之提高。其缺陷是在壓強(qiáng)條件下，它的靈敏度不及熱陰極電離真空計(jì)高，對(duì)不同氣體也需求不同校準(zhǔn)曲線。
?。?）真空度丈量原理
磁控放電真空計(jì)也是利用氣體放電原理，但在規(guī)管中沒有熱陰極。規(guī)管中有兩個(gè)平行陰極，兩個(gè)平行板中心有個(gè)框型電極。整個(gè)規(guī)管的電極部分都在磁場(chǎng)之中。因?yàn)橥饧哟艌?chǎng)的作用和陽(yáng)極的框型，簡(jiǎn)單使電子穿越，形成電子在空間做來(lái)回多次的螺旋運(yùn)動(dòng)。