1、作業(yè)進程真空燒結(jié)爐真空度下降:當真空度低于50pa時,關(guān)主閥開粗抽閥。當真空度康復(fù)后關(guān)粗抽閥開主閥。
2、抽低真空(粗真空):當作業(yè)真空度低于2×10-1pa(即壓強高于2×10-1pa)時,只開機械泵和羅茨泵。這時分散泵不加熱,主閥不開,但要開前級閥。
3、連續(xù)作業(yè):當連續(xù)作業(yè)時,一般分散泵不停(間隔時間不大于1小時),當對真空燒結(jié)爐爐內(nèi)充氣時,先關(guān)主閥和粗抽閥,然后停羅茨泵,由機械泵作分散泵前級泵(有保持泵的能夠關(guān)羅茨泵和前級泵,開保持泵的前級管路閥)。
4、二次抽真空:當?shù)?次抽真空時,操作程序是先關(guān)前級閥,然后開粗抽閥,當真空度到達50Pa后,開前級閥再開羅茨泵,然后按正常操作。
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